COBRA DS 0160 G Ausführung laut Busch-Shop, Motor und Ausstattung auf Anfrage

Name: COBRA DS 0160 G Ausführung laut Busch-Shop, Motor und Ausstattung auf Anfrage
Brand: Busch
SKU: 1361800814

Teilenummer: 1361800814 Serie: COBRA Semicon Serie Hersteller: Busch Technologie: Schrauben-Vakuumpumpen

Die Busch COBRA DS 0160 G ist eine trockene Schrauben-Vakuumpumpe mit einem Nennsaugvermögen von 140 m³/h (50 Hz) bzw. 160 m³/h (60 Hz) und einem Enddruck von 0,03 mbar. Ehrler & Beck berät zu Auswahl und Service.

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Saugvermögen 140 m³/h 50 Hz 160 m³/h 60 Hz
Enddruck 0,03 mbar
Motornennleistung 5,5 kW 50 Hz 6,6 kW 60 Hz

Verfügbare Varianten
Variante	Teilenummer
Ausführung laut Busch-Shop, Motor und Ausstattung auf Anfrage	1361800253
Ausführung laut Busch-Shop, Motor und Ausstattung auf Anfrage	1361800254
Ausführung laut Busch-Shop, Motor und Ausstattung auf Anfrage (ausgewählt)	1361800814

Busch COBRA DS 0160 G – Trockene Schrauben-Vakuumpumpe

Die Busch COBRA DS 0160 G ist eine trockene Schrauben-Vakuumpumpe. Das Nennsaugvermögen beträgt 140 m³/h (50 Hz) bzw. 160 m³/h (60 Hz), der Enddruck 0,03 mbar. Motornennleistung 5,5 kW (50 Hz) bzw. 6,6 kW (60 Hz).

Merkmale

Leistungsstark: Schraubendesign, für chemische Gasphasenabscheidung (CVD), schnelle thermische Prozesse (RTP) und Atomlagenabscheidung (ALD)
Effizient: niedrige Betriebskosten, wenig Wartung, lange Wartungsintervalle, hohe Verfügbarkeit, indirekte Wasserkühlung, hoher Wasserstoffdurchsatz
Kompakt: platzsparende Bauweise mit direkt angebautem Spaltrohrmotor

Typische Anwendungen

Busch nennt: Halbleiter (Niederdruck-Gasphasenabscheidung (LPCVD)/Diffusion, Poly-Silizium-Ätzen, PECVD u. a.).

Ausführungen der Busch COBRA DS 0160 G

Die 3 Ausführungen unterscheiden sich in Motor, Spannung und Ausstattung; Bestellnummern und Beschreibungen aus dem Shop der Busch Group.

Beratung und Service

Ehrler & Beck berät zu Auswahl, Zubehör und Service.

Saugvermögen 50Hz	140
Saugvermögen 60Hz	160
Enddruck	0,03
Motornennleistung 50Hz	5,5
Motornennleistung 60Hz	6,6
Gewicht	338
Länge	97,5
Breite	42,5
Höhe	69,7
Anschlussflansch Eingang	DN 50
Anschlussflansch Ausgang	DN 40
Schallpegel	68 dB(A)
Kühlungsart	Wasserkühlung
Öltyp	Ölfrei

Zusätzliche technische Daten

Technische Daten	Wert
Nennsaugvermögen	140 m³/h (50 Hz) / 160 m³/h (60 Hz)
Enddruck	0,03 mbar
Motornennleistung	5,5 kW (50 Hz) / 6,6 kW (60 Hz)
Nenndrehzahl	3000 min⁻¹ (50 Hz) / 3600 min⁻¹ (60 Hz)
Leistungsaufnahme am Enddruck	4,3 kW (50 Hz) / 5,2 kW (60 Hz)
Schalldruckpegel (ISO 2151, KpA = 3 dB)	< 68 dB(A)
Wasserverbrauch	4,0 l/min
Stickstoffverbrauch	0 – 75 l/min
Abmessungen (L × B × H)	975 × 425 × 697 mm
Gewicht (ca.)	338 kg
Gaseinlass	DN 50
Gasauslass	DN 40