COBRA BC 1001 GPumping speed 870 m³/hUltimate pressure 3 × 10-3 mbar
COBRA DS 3161 C Version according to the Busch shop, motor and equipment on request
Die Busch COBRA DS 3161 C ist eine trockene Schrauben-Vakuumpumpe mit einem Nominal pumping speed von 3200 m³/h und einem Ultimate pressure von 0,001 mbar. Ehrler & Beck berät zu Auswahl und Service.
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- Pumping speed 3,200 m³/h 50 Hz 3,200 m³/h 60 Hz
- Ultimate pressure 1 × 10-3 mbar
- Rated motor power 30 kW 50 Hz 30 kW 60 Hz
| Variant | Part number |
|---|---|
| Version according to the Busch shop, motor and equipment on request (selected) | 1361800932 |
Busch COBRA DS 3161 C – Trockene Schrauben-Vakuumpumpe
Die Busch COBRA DS 3161 C ist eine trockene Schrauben-Vakuumpumpe. Das Nominal pumping speed beträgt 3200 m³/h, der Ultimate pressure 0,001 mbar. Rated motor power 30 kW.Features
- Leistungsstark: Schraubendesign mit integriertem Vakuum-Booster, für chemische Gasphasenabscheidung (CVD), schnelle thermische Prozesse (RTP) und Atomlagenabscheidung (ALD)
- Effizient: niedrige Betriebskosten, wenig Wartung, lange Wartungsintervalle, hohe Verfügbarkeit, indirekte Water cooling, hoher Wasserstoffdurchsatz
- Kompakt: platzsparende Bauweise mit direkt angebautem Spaltrohrmotor; Vorpumpe und Vakuum-Booster auf einem gemeinsamen Grundrahmen
Typical applications
Busch nennt: Display (Load-Lock-Kammern); Halbleiter (Niederdruck-Gasphasenabscheidung (LPCVD)/Diffusion, Anwendungen mit hohem Gasdurchsatz, Poly-Silizium-Ätzen u. a.); Solar (Zellproduktion).Accessories
- Optionale Pulverprozessversion erhältlich (nur für DS 3010 G und DS 3161 C)
- Optionale Tantal-Beschichtung
Versions der Busch COBRA DS 3161 C
Die 1 Versions unterscheiden sich in Motor, Spannung und Equipment; Bestellnummern und Beschreibungen aus dem Shop der Busch Group.Advice and service
Ehrler & Beck advises on selection, accessories and service.| Pumping speed 50Hz | 3,200 |
|---|---|
| Pumping speed 60Hz | 3,200 |
| Ultimate pressure | 1 × 10-3 |
| Rated motor power 50Hz | 30 |
| Rated motor power 60Hz | 30 |
| Weight | 1,375 |
| Length | 131.6 |
| Width | 63.3 |
| Height | 124.9 |
| Inlet connection flange | DN 160 |
| Outlet connection flange | DN 63 |
| Noise level | 75 dB(A) |
| Cooling method | Water cooling |
| Oil type | Oil-free |
Additional technical data
| Technical data | Value |
|---|---|
| Nominal pumping speed | 3200 m³/h |
| Ultimate pressure | 0,001 mbar |
| Rated motor power Vorpumpe | 15 kW |
| Rated motor power Vakuum-Booster | 15 kW |
| Nominal speed Vorpumpe | 3000 min⁻¹ (50 Hz) / 3600 min⁻¹ (60 Hz) |
| Nominal speed Vakuum-Booster | 4500 min⁻¹ (50 Hz) / 5400 min⁻¹ (60 Hz) |
| Power consumption at ultimate pressure | 11,8 kW |
| Power consumption at idle | 9,9 kW |
| Sound pressure level (ISO 2151, KpA = 3 dB) | < 75 dB(A) |
| Wasserverbrauch | 10 l/min |
| Stickstoffverbrauch | 0 – 200 l/min |
| Dimensions (L × W × H) | 1316 × 633 × 1249 mm |
| Weight (approx.) | 1375 kg |
| Gas inlet | DN 160 |
| Gas outlet | DN 63 |
COBRA BC 1001 GPumping speed 870 m³/hUltimate pressure 3 × 10-3 mbar
COBRA BC 1200 APumping speed 1,200 m³/hUltimate pressure 3 × 10-3 mbar
COBRA DS 1200 APumping speed 1,200 m³/hUltimate pressure 3 × 10-3 mbar
COBRA DS 2000 GPumping speed 1,365 m³/hUltimate pressure 3 × 10-3 mbar
COBRA DS 1800 APumping speed 1,700 m³/hUltimate pressure 3 × 10-3 mbar
COBRA DS 1800 A XPumping speed 1,700 m³/hUltimate pressure 3 × 10-3 mbar
COBRA DS 3010 GPumping speed 3,200 m³/hUltimate pressure 1 × 10-3 mbar
COBRA DS 3181 CPumping speed 3,500 m³/hUltimate pressure 1 × 10-3 mbar
COBRA DS 5161 BPumping speed 4,300 m³/hUltimate pressure 1 × 10-3 mbar
COBRA DS 8161 FPumping speed 6,000 m³/hUltimate pressure 1 × 10-3 mbar
COBRA DS 9161 BPumping speed 6,220 m³/hUltimate pressure 1 × 10-3 mbar
COBRA DS 8162 FPumping speed 7,200 m³/hUltimate pressure 1 × 10-3 mbar
