COBRA BC 0601 GSaugvermögen 550 m³/hEnddruck 3 × 10-3 mbar
COBRA DS 2000 G Ausführung laut Busch-Shop, Motor und Ausstattung auf Anfrage
Die Busch COBRA DS 2000 G ist eine trockene Schrauben-Vakuumpumpe mit einem Nennsaugvermögen von 1365 m³/h (50 Hz) bzw. 1640 m³/h (60 Hz) und einem Enddruck von 0,003 mbar. Ehrler & Beck berät zu Auswahl und Service.
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- Saugvermögen 1.365 m³/h 50 Hz 1.640 m³/h 60 Hz
- Enddruck 3 × 10-3 mbar
- Motornennleistung 11 kW 50 Hz 13,2 kW 60 Hz
| Variante | Teilenummer |
|---|---|
| Ausführung laut Busch-Shop, Motor und Ausstattung auf Anfrage | 1361800264 |
| Ausführung laut Busch-Shop, Motor und Ausstattung auf Anfrage (ausgewählt) | 1361800265 |
Busch COBRA DS 2000 G – Trockene Schrauben-Vakuumpumpe
Die Busch COBRA DS 2000 G ist eine trockene Schrauben-Vakuumpumpe. Das Nennsaugvermögen beträgt 1365 m³/h (50 Hz) bzw. 1640 m³/h (60 Hz), der Enddruck 0,003 mbar. Motornennleistung 11 kW (50 Hz) bzw. 13,2 kW (60 Hz).Merkmale
- Leistungsstark: Schraubendesign mit integriertem Vakuum-Booster, für chemische Gasphasenabscheidung (CVD), schnelle thermische Prozesse (RTP) und Atomlagenabscheidung (ALD)
- Effizient: niedrige Betriebskosten, wenig Wartung, lange Wartungsintervalle, hohe Verfügbarkeit, indirekte Wasserkühlung, hoher Wasserstoffdurchsatz
- Kompakt: platzsparende Bauweise mit direkt angebautem Spaltrohrmotor; Vorpumpe und Vakuum-Booster auf einem gemeinsamen Grundrahmen
Typische Anwendungen
Busch nennt: Display (Physikalische Gasphasenabscheidung (PVD)); Halbleiter (Niederdruck-Gasphasenabscheidung (LPCVD)/Diffusion, Poly-Silizium-Ätzen, PECVD u. a.); Solar (Zellproduktion, Kristallziehen).Ausführungen der Busch COBRA DS 2000 G
Die 2 Ausführungen unterscheiden sich in Motor, Spannung und Ausstattung; Bestellnummern und Beschreibungen aus dem Shop der Busch Group.Beratung und Service
Ehrler & Beck berät zu Auswahl, Zubehör und Service.| Saugvermögen 50Hz | 1.365 |
|---|---|
| Saugvermögen 60Hz | 1.640 |
| Enddruck | 3 × 10-3 |
| Motornennleistung 50Hz | 11 |
| Motornennleistung 60Hz | 13,2 |
| Gewicht | 668 |
| Länge | 106,3 |
| Breite | 46,5 |
| Höhe | 106,9 |
| Anschlussflansch Eingang | DN 160 |
| Anschlussflansch Ausgang | DN 40 |
| Schallpegel | 68 dB(A) |
| Kühlungsart | Wasserkühlung |
| Öltyp | Ölfrei |
Zusätzliche technische Daten
| Technische Daten | Wert |
|---|---|
| Nennsaugvermögen | 1365 m³/h (50 Hz) / 1640 m³/h (60 Hz) |
| Enddruck | 0,003 mbar |
| Motornennleistung Vorpumpe | 5,5 kW (50 Hz) / 6,6 kW (60 Hz) |
| Motornennleistung Vakuum-Booster | 5,5 kW (50 Hz) / 6,6 kW (60 Hz) |
| Nenndrehzahl Vorpumpe | 3000 min⁻¹ (50 Hz) / 3600 min⁻¹ (60 Hz) |
| Nenndrehzahl Vakuum-Booster | 3000 min⁻¹ (50 Hz) / 3600 min⁻¹ (60 Hz) |
| Leistungsaufnahme am Enddruck | 5,6 kW (50 Hz) / 6,8 kW (60 Hz) |
| Leistungsaufnahme im Leerlauf | 5,6 kW (50 Hz) / 6,8 kW (60 Hz) |
| Schalldruckpegel (ISO 2151, KpA = 3 dB) | < 68 dB(A) |
| Wasserverbrauch | 5,0 l/min |
| Stickstoffverbrauch | 0 – 75 l/min |
| Abmessungen (L × B × H) | 1063 × 465 × 1069 mm |
| Gewicht (ca.) | 668 kg |
| Gaseinlass | DN 160 |
| Gasauslass | DN 40 |
COBRA BC 0601 GSaugvermögen 550 m³/hEnddruck 3 × 10-3 mbarCOBRA DS 0600 ESaugvermögen 600 m³/hEnddruck 0,01 mbarCOBRA DS 1000 GSaugvermögen 775 m³/hEnddruck 3 × 10-3 mbarCOBRA BC 1001 GSaugvermögen 870 m³/hEnddruck 3 × 10-3 mbarCOBRA BC 1200 ASaugvermögen 1.200 m³/hEnddruck 3 × 10-3 mbarCOBRA DS 1200 ASaugvermögen 1.200 m³/hEnddruck 3 × 10-3 mbarCOBRA DS 1800 ASaugvermögen 1.700 m³/hEnddruck 3 × 10-3 mbarCOBRA DS 1800 A XSaugvermögen 1.700 m³/hEnddruck 3 × 10-3 mbarCOBRA DS 3010 GSaugvermögen 3.200 m³/hEnddruck 1 × 10-3 mbarCOBRA DS 3161 CSaugvermögen 3.200 m³/hEnddruck 1 × 10-3 mbarCOBRA DS 3181 CSaugvermögen 3.500 m³/hEnddruck 1 × 10-3 mbarCOBRA DS 5161 BSaugvermögen 4.300 m³/hEnddruck 1 × 10-3 mbar