COBRA BC 1001 GSaugvermögen 870 m³/hEnddruck 3 × 10-3 mbar
COBRA DS 3010 G Ausführung laut Busch-Shop, Motor und Ausstattung auf Anfrage
Die Busch COBRA DS 3010 G ist eine trockene Schrauben-Vakuumpumpe mit einem Nennsaugvermögen von 3200 m³/h und einem Enddruck von 0,001 mbar. Ehrler & Beck berät zu Auswahl und Service.
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- Saugvermögen 3.200 m³/h 50 Hz 3.200 m³/h 60 Hz
- Enddruck 1 × 10-3 mbar
- Motornennleistung 30 kW 50 Hz 30 kW 60 Hz
| Variante | Teilenummer |
|---|---|
| Ausführung laut Busch-Shop, Motor und Ausstattung auf Anfrage (ausgewählt) | 1361800919 |
Busch COBRA DS 3010 G – Trockene Schrauben-Vakuumpumpe
Die Busch COBRA DS 3010 G ist eine trockene Schrauben-Vakuumpumpe. Das Nennsaugvermögen beträgt 3200 m³/h, der Enddruck 0,001 mbar. Motornennleistung 30 kW.Merkmale
- Leistungsstark: Schraubendesign mit integriertem Vakuum-Booster, für chemische Gasphasenabscheidung (CVD), schnelle thermische Prozesse (RTP) und Atomlagenabscheidung (ALD)
- Effizient: niedrige Betriebskosten, wenig Wartung, lange Wartungsintervalle, hohe Verfügbarkeit, indirekte Wasserkühlung, hoher Wasserstoffdurchsatz
- Kompakt: platzsparende Bauweise mit direkt angebautem Spaltrohrmotor; Vorpumpe und Vakuum-Booster auf einem gemeinsamen Grundrahmen
Typische Anwendungen
Busch nennt: Display (Load-Lock-Kammern); Halbleiter (Niederdruck-Gasphasenabscheidung (LPCVD)/Diffusion, Anwendungen mit hohem Gasdurchsatz, Poly-Silizium-Ätzen u. a.); Solar (Zellproduktion).Zubehör
- Optionale Pulverprozessversion erhältlich (nur für DS 3010 G und DS 3161 C)
- Optionale Tantal-Beschichtung
Ausführungen der Busch COBRA DS 3010 G
Die 1 Ausführungen unterscheiden sich in Motor, Spannung und Ausstattung; Bestellnummern und Beschreibungen aus dem Shop der Busch Group.Beratung und Service
Ehrler & Beck berät zu Auswahl, Zubehör und Service.| Saugvermögen 50Hz | 3.200 |
|---|---|
| Saugvermögen 60Hz | 3.200 |
| Enddruck | 1 × 10-3 |
| Motornennleistung 50Hz | 30 |
| Motornennleistung 60Hz | 30 |
| Gewicht | 1.500 |
| Länge | 142 |
| Breite | 72,2 |
| Höhe | 145,2 |
| Anschlussflansch Eingang | DN 160 |
| Anschlussflansch Ausgang | DN 63 |
| Schallpegel | 75 dB(A) |
| Kühlungsart | Wasserkühlung |
| Öltyp | Ölfrei |
Zusätzliche technische Daten
| Technische Daten | Wert |
|---|---|
| Nennsaugvermögen | 3200 m³/h |
| Enddruck | 0,001 mbar |
| Motornennleistung Vorpumpe | 15 kW |
| Motornennleistung Vakuum-Booster | 15 kW |
| Nenndrehzahl Vorpumpe | 3000 min⁻¹ (50 Hz) / 3600 min⁻¹ (60 Hz) |
| Nenndrehzahl Vakuum-Booster | 4500 min⁻¹ (50 Hz) / 5400 min⁻¹ (60 Hz) |
| Leistungsaufnahme am Enddruck | 11,8 kW |
| Leistungsaufnahme im Leerlauf | 9,9 kW |
| Schalldruckpegel (ISO 2151, KpA = 3 dB) | < 75 dB(A) |
| Wasserverbrauch | 10 l/min |
| Stickstoffverbrauch | 0 – 200 l/min |
| Abmessungen (L × B × H) | 1420 × 722 × 1452 mm |
| Gewicht (ca.) | 1500 kg |
| Gaseinlass | DN 160 |
| Gasauslass | DN 63 |
COBRA BC 1001 GSaugvermögen 870 m³/hEnddruck 3 × 10-3 mbar
COBRA BC 1200 ASaugvermögen 1.200 m³/hEnddruck 3 × 10-3 mbar
COBRA DS 1200 ASaugvermögen 1.200 m³/hEnddruck 3 × 10-3 mbar
COBRA DS 2000 GSaugvermögen 1.365 m³/hEnddruck 3 × 10-3 mbar
COBRA DS 1800 ASaugvermögen 1.700 m³/hEnddruck 3 × 10-3 mbar
COBRA DS 1800 A XSaugvermögen 1.700 m³/hEnddruck 3 × 10-3 mbar
COBRA DS 3161 CSaugvermögen 3.200 m³/hEnddruck 1 × 10-3 mbar
COBRA DS 3181 CSaugvermögen 3.500 m³/hEnddruck 1 × 10-3 mbar
COBRA DS 5161 BSaugvermögen 4.300 m³/hEnddruck 1 × 10-3 mbar
COBRA DS 8161 FSaugvermögen 6.000 m³/hEnddruck 1 × 10-3 mbar
COBRA DS 9161 BSaugvermögen 6.220 m³/hEnddruck 1 × 10-3 mbar
COBRA DS 8162 FSaugvermögen 7.200 m³/hEnddruck 1 × 10-3 mbar
