COBRA DS 0080 G Ausführung laut Busch-Shop, Motor und Ausstattung auf Anfrage

Name: COBRA DS 0080 G Ausführung laut Busch-Shop, Motor und Ausstattung auf Anfrage
Brand: Busch
SKU: 1361700750

Teilenummer: 1361700750 Serie: COBRA Semicon Serie Hersteller: Busch Technologie: Schrauben-Vakuumpumpen

Die Busch COBRA DS 0080 G ist eine trockene Schrauben-Vakuumpumpe mit einem Nennsaugvermögen von 70 m³/h (50 Hz) bzw. 85 m³/h (60 Hz) und einem Enddruck von 0,03 mbar. Ehrler & Beck berät zu Auswahl und Service.

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Saugvermögen 70 m³/h 50 Hz 85 m³/h 60 Hz
Enddruck 0,03 mbar
Motornennleistung 4 kW 50 Hz 4,4 kW 60 Hz

Verfügbare Varianten
Variante	Teilenummer
Ausführung laut Busch-Shop, Motor und Ausstattung auf Anfrage (ausgewählt)	1361700750
Ausführung laut Busch-Shop, Motor und Ausstattung auf Anfrage	1361800250

Busch COBRA DS 0080 G – Trockene Schrauben-Vakuumpumpe

Die Busch COBRA DS 0080 G ist eine trockene Schrauben-Vakuumpumpe. Das Nennsaugvermögen beträgt 70 m³/h (50 Hz) bzw. 85 m³/h (60 Hz), der Enddruck 0,03 mbar. Motornennleistung 4 kW (50 Hz) bzw. 4,4 kW (60 Hz).

Merkmale

Leistungsstark: Schraubendesign, für chemische Gasphasenabscheidung (CVD), schnelle thermische Prozesse (RTP) und Atomlagenabscheidung (ALD)
Effizient: niedrige Betriebskosten, wenig Wartung, lange Wartungsintervalle, hohe Verfügbarkeit, indirekte Wasserkühlung, hoher Wasserstoffdurchsatz
Kompakt: platzsparende Bauweise mit direkt angebautem Spaltrohrmotor

Typische Anwendungen

Busch nennt: Halbleiter (Niederdruck-Gasphasenabscheidung (LPCVD)/Diffusion, Poly-Silizium-Ätzen, PECVD u. a.).

Ausführungen der Busch COBRA DS 0080 G

Die 2 Ausführungen unterscheiden sich in Motor, Spannung und Ausstattung; Bestellnummern und Beschreibungen aus dem Shop der Busch Group.

Beratung und Service

Ehrler & Beck berät zu Auswahl, Zubehör und Service.

Saugvermögen 50Hz	70
Saugvermögen 60Hz	85
Enddruck	0,03
Motornennleistung 50Hz	4
Motornennleistung 60Hz	4,4
Gewicht	276
Länge	86,5
Breite	38,5
Höhe	66,7
Anschlussflansch Eingang	DN 40
Anschlussflansch Ausgang	DN 40
Schallpegel	62 dB(A)
Kühlungsart	Wasserkühlung
Öltyp	Ölfrei

Zusätzliche technische Daten

Technische Daten	Wert
Nennsaugvermögen	70 m³/h (50 Hz) / 85 m³/h (60 Hz)
Enddruck	0,03 mbar
Motornennleistung	4,0 kW (50 Hz) / 4,4 kW (60 Hz)
Nenndrehzahl	3000 min⁻¹ (50 Hz) / 3600 min⁻¹ (60 Hz)
Leistungsaufnahme am Enddruck	2,6 kW (50 Hz) / 3,2 kW (60 Hz)
Schalldruckpegel (ISO 2151, KpA = 3 dB)	< 62 dB(A)
Wasserverbrauch	4,0 l/min
Stickstoffverbrauch	0 – 75 l/min
Abmessungen (L × B × H)	865 × 385 × 667 mm
Gewicht (ca.)	276 kg
Gaseinlass	DN 40
Gasauslass	DN 40